GB/T 2900.104-2021

摘要：GB/T 2900.104-2021标准2021年10月11日发布2022年05月01日实施，此标准界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。此标准适用于微机电技术领域。国家标准《电工术语 微机电装置》由TC232（全国电工术语标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。