T/ZSA 166-2023

摘要：T/ZSA 166-2023标准2023年11月10日发布2023年11月11日实施，本文件是针对CVD法制备石墨烯薄膜，以国家相关标准为基础，结合石墨烯材料具体的工艺制定。本文件梳理了CVD法制备石墨烯薄膜的典型工艺流程，列举了原料、能耗等关键…《石墨烯材料 绿色制备指南 第1部分：化学气相沉积法（CVD）》团体名称为中关村标准化协会。