摘要：SJ/T 11761-2020标准2020年12月09日发布2021年04月01日实施，适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口中文标题为《200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范》
分类：电子
更新：2025-01-17最后编辑
名称：SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范
本文来自AI建筑网整理分享，转载链接：https://www.aijianzhu.com/page/210417.html
摘要：SJ/T 11761-2020标准2020年12月09日发布2021年04月01日实施，适用于加工直径 200 mm 及以下晶圆的半导体设备装载端口中文标题为《200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范》
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