摘要：YS/T 1392-2020标准2020年12月09日发布2021年04月01日实施，本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。中文标题为《氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法》
分类：制造业
更新：2025-01-17最后编辑
名称：YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
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