GB/T 39144-2020

摘要：GB/T 39144-2020标准2020年10月11日发布2021年09月01日实施，此标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。此标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于51014cm-3。注:氮化镓材料中的镁含量以每立方厘米中的原子数计。国家标准《氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。