T/GVS 006-2022

摘要：T/GVS 006-2022标准2022年05月27日发布2022年05月27日实施，规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求。适用于电气工作频率在100kHz～3GHz的半导体装备用射频电源和微…《半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法》团体名称为广东省真空学会。