T/GVS 005-2022

摘要：T/GVS 005-2022标准2022年03月28日发布2022年03月28日实施，规定了半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件要求、精度测试、重复性精度测试、零点、满度温度系数测试、数据处理、复测时间。适用于测量范…《半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范》团体名称为广东省真空学会。