T/GVS 007-2022

摘要：T/GVS 007-2022标准2022年07月11日发布2022年07月11日实施，规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2MHz～100MHz的射频电…《射频电源动态阻抗测试方法》团体名称为广东省真空学会。