GB/T 37051-2018

摘要：GB/T 37051-2018标准2018年12月28日发布2019年04月01日实施，此标准规定了太阳能级多晶硅锭、硅片的晶体缺陷密度测定方法，包含方法概要、试剂和材料、仪器和设备、试样制备、测试步骤、数据处理、精密度、干扰因素和报告。此标准适用于太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度的测定。国家标准《太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。