GB/T 36969-2018

摘要：GB/T 36969-2018标准2018年12月28日发布2018年12月28日实施，此标准规定了使用原子力显微术（AFM）测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。此标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。国家标准《纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国科学院。