GB/T 25915.9-2018

摘要：GB/T 25915.9-2018标准2018年06月07日发布2018年10月01日实施，GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05m~500m的粒子。本部分对以下事项未予考虑：——特定工艺的洁净度及适合性要求；——表面的清洁步骤；——材料特性；——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项；——分级和测试统计方法的选择和使用；——粒子的其他特性，如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。国家标准《洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级》由TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。