T/ZOIA 30001-2022

摘要：T/ZOIA 30001-2022标准2022年12月29日发布2022年12月29日实施，本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。《MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法》团体名称为中关村光电产业协会。