T/BEA 40002-2022

摘要：T/BEA 40002-2022标准2022年01月18日发布2022年02月09日实施，1范围1.1主题内容本规范规定了微波ECR等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。1.2适用范围本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和…《微波ECR等离子体发生器校准规范》团体名称为北京电子仪器行业协会。