GB/T 34971-2017

摘要：GB/T 34971-2017标准2017年11月01日发布2018年02月01日实施，此标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。此标准适用于半导体制造用气体的处理。国家标准《半导体制造用气体处理指南》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。