GB/T 33922-2017

摘要：GB/T 33922-2017标准2017年07月12日发布2018年02月01日实施，此标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片（简称压力敏感芯片）的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。此标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。国家标准《MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。