GB/T 33763-2017

摘要：GB/T 33763-2017标准2017年05月31日发布2017年12月01日实施，此标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。此标准适用于抛光加工后位错密度为0个／cm2~100000个／cm2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为｛0001)、{1120)、{1012)、{1010｝面。国家标准《蓝宝石单晶位错密度测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。