T/NXCL 003-2021

摘要：T/NXCL 003-2021标准2021年11月11日发布2021年11月11日实施，本文件规定了大尺寸环形硅锗靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、材质、化学成分、物理性能、物理规格、表面…《平面硅锗靶材》团体名称为宁夏材料研究学会。