T/CSTM 00313-2021

摘要：T/CSTM 00313-2021标准2021年10月18日发布2022年01月18日实施，本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合…《基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法》团体名称为中关村材料试验技术联盟。