T/CATSI 09010-2021

摘要：T/CATSI 09010-2021标准2021年08月25日发布2021年08月25日实施，第3章　术语、定义和缩略语为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。第4章真空腔体污染物本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂…《光学真空腔体洁净度检测规范》团体名称为中国技术监督情报协会。